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  • 真空鍍膜係統用途及其製作方法
  • 來源:發布日期:2019-06-30 21:59 瀏覽次數:
  跟著節能減排政策的建議,人們對低輻射鍍膜玻璃提出更高的要求。普通用於出產鍍膜玻璃的鍍膜段出產的產物已經不能滿意人們提出的更高要求。大麵積磁控濺射鍍膜出產線包括很多構成部門,AG亚游集团官方网站,個中焦點區域是鍍膜高真空區的工藝部署,即鍍膜段。現有技能中存在真空情況差、冷卻結果低會嚴重影響製備的膜層質量。
  提供一種真空鍍膜係統,本係統由真空鍍膜係統和真白手套箱係統集成而成,可在高真空蒸鍍腔室中完成薄膜蒸鍍,並在手套箱高純惰性氣體氣氛下舉辦樣品的存放、製備以及蒸鍍後樣品的檢測。蒸發鍍膜與真白手套箱組合,實現蒸鍍、封裝、測試等工藝全關閉建造,使整個薄膜發展和器件製備進程高度集成在一個完整的可控情況氣氛的係統中,消除有機大麵積電路製備進程中大氣情況中不不變因素影響,保障了高機能、大麵積有機光電器件和電路的製備。
  真空鍍膜係統主要用於太陽能電池鈣鈦礦、OLED和PLED、半導體製備等嚐試研究與應用。
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